潍坊真空镀膜系统主要由哪几部分组成？

潍坊真空镀膜系统主要由哪些部分组成？

1、真空室

涂装设备主要有连续涂装生产线和单室涂装机两种形式，不锈钢材料制造、氩弧焊、表面化学抛光处理，真空室组件焊接各种规格的法兰接口。

2、真空获取部分

在真空技术中，真空获取部分是一个重要的组成部分。真空获取不能通过真空设备和方法来实现。机械泵、罗茨泵、分子泵系统等多种泵必须联合使用。

3、真空测量部分

真空系统的真空测量部分是测量真空室内的压力。像真空泵一样，没有真空计可以测量整个真空范围，所以人们根据不同的原理和要求制作了许多类型的真空计。如热偶计、电离计、皮拉尼计等。

4、供电部分

靶电源主要包括直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(RF)，常见的电源厂商有AE，ADL,霍廷格等。

5、工艺气体输入系统

6、机械传动部分

镀膜要求周围厚度均匀，因此镀膜过程中必须有三个旋转量才能满足要求。也就是说，要求大型工件台旋转(I)同时，小型工件承载台也旋转(II),而且工件本身也可以同时自转(III)。在机械设计中，大工件转盘底部的中心通常是一个大的主动齿轮，周围有一些小的星轮与之啮合。如果要实现产品自转，一般用拨叉拨动工件自转。

7、加热和测温部分

镀膜设备通常有不同位置的加热器，用热电偶测量和控制温度。然而，由于热电偶夹的位置和工件的位置不同，温度读数不能是工件的真实温度。测量工件真实温度的方法有很多，可以在工件上安装高温试纸或热偶计。

潍坊真空镀膜是什么？

潍坊真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面。它是一种以真空技术为基础，采用物理或化学方法，吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁性控制等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的新技术。简单地说，在真空中蒸发或溅射金属、合金或化合物，在镀膜物体（称为基板、基板或基体）上凝固和沉积的方法称为真空镀膜。

在某些材料的表面，只要涂上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，物体表面的镀膜方法主要包括电镀法和化学镀膜法。前者通过通电电解电解液，电解离子作为另一个电极涂在基体表面。因此，在这种镀膜条件下，基体必须是电的良导体，薄膜厚度难以控制。后者采用化学还原法，必须将薄膜材料制成溶液，并能迅速参与还原反应。这种镀膜方法不仅薄膜结合强度差，而且镀膜不均匀，不易控制，而且产生大量废液，造成严重污染。因此，这两种被称为湿式镀膜的镀膜工艺受到了很大的限制。